报告题目：从MEMS到纳米制造、效应与微纳传感器研究
报 告 人：李铁 研究员
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主 持 人：卢革宇 教授
报告时间：26114133014年6月10日14:00
报告地点：唐敖庆楼D311会议室
主办单位：电子科学与工程学院
集成光电子学国家重点联合实验室
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